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產品名稱：OHKURA大倉立式熱處理爐DF1600
產品型號：
產品廠商：其它品牌
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簡單介紹：

詳情介紹：

OHKURA大倉立式熱處理爐
本裝置是半導體制造工序——熱處理工序中所使用的立式熱處理爐（擴散爐）?，F(xiàn)在在半導體制造領域，開始從大批量生產方式向多品種少量生產方式轉變。本裝置可以進行小容量、高速處理，而且尺寸小巧，可以設置在現(xiàn)有的無塵室中。
特點
■可高速升降溫（支持FTP）
通過采用立式電阻加熱方式的獨特加熱器，可進行高速升溫、高速降溫，僅需1臺即可完成高速升降溫處理以及通常處理。
■本公司自主研發(fā)的晶圓轉移系統(tǒng)
通過使用本公司自主研發(fā)的晶圓轉移系統(tǒng)，實現(xiàn)驅動部的高可靠性。
■搭載節(jié)距變換設備
可將晶舟側溝節(jié)距變換為任意節(jié)距從而轉移晶圓。（設定范圍4.76-9.52mm）晶圓的搬運以片盒到片盒的方式進行。
■重視生產率和操作性的裝置
操作部采用帶有觸摸屏的TFT面板，生產率和操作性均十分出眾。
■晶圓可低溫入爐
晶圓可低溫入爐。顯著降低了大氣夾帶的影響。
■可以**輕松地拆裝反應管
利用自動升降機，可以更加**輕松地拆裝反應管。
■獨有的溫度控制系統(tǒng)
在加熱器及溫度控制系統(tǒng)中采用了獨有的方式，顯著提高溫度恢復特性。
■可維護性
設計合理，即使安裝多臺，也不會降低可維護性和操作性。
OHKURA大倉立式熱處理爐

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產品名稱：OHKURA大倉立式熱處理爐DF1600