• 極其緊湊的尺寸和輕量化
  的 1/20th與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比，尺寸小，易于集成到任何系統(tǒng)中

• 由 9 個(gè)四極桿組成的高性能
  微型陣列提供出色的靈敏度，而體積僅為傳統(tǒng)四極桿的一小部分

• 高壓作
  可在高達(dá) 0.9Pa （7mTorr， 9 x 10-3mbar），從而減少或消除許多應(yīng)用中昂貴的真空抽氣

• 校準(zhǔn)
  中的可互換傳感器頭 傳感器頭在發(fā)貨前經(jīng)過預(yù)調(diào)諧和校準(zhǔn)，允許用戶在現(xiàn)場(chǎng)更換傳感器，而無需微調(diào)或技術(shù)專業(yè)知識(shí)

• 網(wǎng)絡(luò)傳感器
  使用 RS-485 的一臺(tái) PC *多可以監(jiān)控 8 個(gè)傳感器。還可以通過外部 I/O 進(jìn)行無 PC 的掃描作。

• 用戶友好的軟件
  Micropole Scanner? 2 軟件允許用戶以各種模式監(jiān)測(cè)氣體的分壓，例如趨勢(shì)圖、光譜圖、條形圖。

測(cè)量原理

四極桿質(zhì)量分析儀由離子源、質(zhì)量離子檢測(cè)器組成。殘余氣體與高溫細(xì)絲釋放的熱電子碰撞時(shí)被電離，由此產(chǎn)生的離子加速并匯聚到質(zhì)量過濾器上。在質(zhì)量過濾器上，將不同的直流電和 RF 施加到電極（四極桿）上，從而允許離子按質(zhì)量分離。分離的離子被法拉第杯檢測(cè)為電流。離子電流與殘余氣體的分壓成正比。

微極TM分析器

使四極桿質(zhì)量分析儀****的功能是 MICROPOLETM分析器 （MPA）;由九個(gè)四極桿組成的組合，充分利用了超精密光學(xué)蝕刻加工技術(shù)和玻璃/金屬接合技術(shù)。MPA 的開發(fā)催生了四極桿質(zhì)量分析儀，這是世界上*小的殘余氣體分析儀，同時(shí)提供與傳統(tǒng)的大型質(zhì)譜儀相同或更好的靈敏度。分析器是一個(gè)插件單元。它采用的傳感器單元已針對(duì)分壓進(jìn)行了校準(zhǔn)，并提供**總壓和分壓測(cè)量。

應(yīng)用

腔室狀態(tài)監(jiān)測(cè)

Microople System QL 系列由于其緊湊性而長期用于測(cè)量殘留氣體。在金屬濺射工藝中，必須降低氧基氣體的分壓，以避免濺射金屬氧化。一旦腔室暴露在空氣中進(jìn)行維護(hù)，需要時(shí)間來減少殘留氣體，四極桿質(zhì)量分析儀適用于檢查腔室狀況。

 

等離子體過程監(jiān)測(cè)

四極桿質(zhì)量分析儀具有一種用于等離子體過程的原位過程監(jiān)測(cè)技術(shù)，包括蝕刻、濺射和干洗。在通過反應(yīng)濺射沉積透明導(dǎo)電氧化物薄膜的過程中，氧基氣體的控制對(duì)于透明度和導(dǎo)電性都至關(guān)重要。近年來，半導(dǎo)體工藝的復(fù)雜性需要額外的工藝監(jiān)控工具，以縮短設(shè)備啟動(dòng)時(shí)間并檢測(cè)工藝異常。

外形尺寸 （mm）

規(guī)格
微極系統(tǒng)
頻譜發(fā)生器

* 以下傳感器規(guī)格基于 400ms m/z 單位的掃描速度。
* 包括基于 Windows 10 及更高版本的配置和數(shù)據(jù)采集軟件。


傳感器

* SMPA 型傳感器由真空接頭上的網(wǎng)狀保護(hù)，旨在延長傳感器在等離子體工藝等惡劣環(huán)境中的使用壽命。

*1 Q 質(zhì)量數(shù)信號(hào)輸出飽和的壓力。超過此壓力時(shí)，信號(hào)輸出可能與實(shí)際壓力不對(duì)應(yīng)。

*2 可作的上限壓力。如果工作壓力超過極限壓力，測(cè)量可能會(huì)停止以保護(hù)傳感器。