產(chǎn)品分類
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德國DRUSEIDT
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意大利TOGNELLA
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德國AUTOSEN
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土耳其Oleocon
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德國ISOLOC
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RIYYO
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AICHITOKEI愛知
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NICHIAS霓佳斯
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日本ENDO遠(yuǎn)藤
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FUJIKIN富士金
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YOKOKOWA KEI...
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TOYOX東洋克斯
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HORIBA堀場
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OJIDEN大阪
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VENN桃太郎
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TOYO東洋閥門
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日本YAMAYU
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日本BL
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OHKURA大倉
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HEIDON新東科學(xué)
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FUSOSEIKI扶桑精...
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日本OMRON歐姆龍
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日本KANETEC強(qiáng)力
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日本威威VESSEL
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日本愛知時(shí)計(jì)Aichi ...
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SIBATA柴田
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日本RSK
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azbil山武
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FINTECH
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JRM
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JAPANSENSOR日...
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BL必愛路
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SIGMAKOKI西格瑪...
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TOKISANGYO東機(jī)...
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SHIMADZU島津
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NBK鍋屋
- NPM脈沖
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DRY-CABI
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TOHKEMY特開立
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KONICA MINOL...
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TAKIKAWA瀧川
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NIDEC尼得科新寶
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KEYENCE基恩士
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UNIPULSE尤尼帕斯
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FUJICON富士
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CHINO千野
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MOTHERTOOL
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METROL美德龍
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CHELIC氣立可
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SIMCO思美高
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KYORITSU克列茨（...
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YAMADA山田照明
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KIKUSUI菊水
聯(lián)系我們
- 聯(lián)系人：駱婷
- 聯(lián)系電話：0799-6669801
- 移動(dòng)電話：13717021988
- Email：hl@tamasaki.com
- 公司地址：
- 江西省萍鄉(xiāng)市安源區(qū)春雷糧
- 油批發(fā)市場招商中心二樓1-3室
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
VG 系列電容式壓力計(jì)尺寸緊湊，采用全金屬設(shè)計(jì)，可選配自動(dòng)溫度調(diào)節(jié)功能。
詳情介紹：
- 緊湊型自加熱設(shè)計(jì)
- 電極結(jié)構(gòu)帶來高性能和高穩(wěn)定性
- 鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性
- 設(shè)定點(diǎn)輸出（2 點(diǎn)）
- 警報(bào)輸出
- 通過專用軟件調(diào)整量程
- 一鍵歸零
- 電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電
- 符合 CE 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
技術(shù)論文
電容薄膜真空計(jì)研發(fā) (1.3MB)
摘要
"在用于制造發(fā)光二極管、半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體，而制程壓力對產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大，因此需要具備良好耐腐蝕性、無氣體依賴性和高精度的真空計(jì)。為滿足這些要求，HORIBA STEC 研發(fā)了電容薄膜真空計(jì)“VG-200 系列”，性能評估結(jié)果顯示其具備出色的重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性。本文將描述下 VG-200 系列產(chǎn)品的特性和性能評估結(jié)果。"
| 型 | VG-200 型 | |
|---|---|---|
| 滿量程范圍 |
133.32帕 |
1.3332 千帕斯卡/13.332 千帕斯卡/133.32 千帕斯卡 |
| 傳感器控制溫度 | 55°C/100°C | |
| 精度包括非線性、滯后、非重復(fù)性 * | 0.5%R.S. | 0.25%R.S. |
| 分辨率 | 0.03%F.S | 0.01%F.S |
| 零溫度系數(shù) |
0.005%F.S./°C |
0.0025%F.S./°C |
| 跨度溫度系數(shù) | 0.03%R.S./°C | 0.02%R.S./°C |
| 工作溫度 | 10°C 至 45°C（55°C），10°C 至 50°C（100°C） | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <60毫秒 | |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 60 分鐘（55°C），120 分鐘（100°C） | |
| 耐受壓力 | 350 千帕斯卡（A） | |
| 輸出 | 模擬 0-10V，負(fù)載電阻：10kΩ 或更高 | |
| 電源電壓 | ±15VDC ±5% 或 24VDC±5% @0.6Amax | |
| 設(shè)定值 | 觸點(diǎn)形式： 1a，1b， 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量： 2 電流充電容量： 0.1A @30VDC | |
* 包括非線性、滯后、25°C 環(huán)境溫度下運(yùn)行 2 小時(shí)后的不可重復(fù)性。
類型 / 規(guī)格
| 1. 滿尺寸 | 2. 加熱器設(shè)定溫度 | 3. 配件 | |
|---|---|---|---|
| VG-221型 |
10T：133.32Pa 11T：1.3332kPa（10Torr） 12T：13.332kPa（100Torr） 13T ： 133.32kPa（1000 托） |
055 ： 55°C 100 ： 100°C |
KF16 ： KF16 8CR ： 1/2VCR-F CF34 ： ICF34 |
● 請選擇滿量程、加熱器設(shè)定溫度和配件?！?如果您需要鬧鐘初始設(shè)置，請聯(lián)系我們。
外部尺寸
