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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱(chēng)：HORIBA堀場(chǎng)電容式壓力計(jì)
產(chǎn)品型號(hào)：VG-200S
產(chǎn)品廠(chǎng)商：HORIBA堀場(chǎng)
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：

**壓力測(cè)量對(duì)于包括半導(dǎo)體，F(xiàn)PD, HDD, PV和涂層在內(nèi)的各種行業(yè)的真空工藝是至關(guān)重要的。電容式壓力計(jì)從膜片的變形來(lái)確定總壓力，當(dāng)膜片的兩側(cè)施加壓力差時(shí)，膜片發(fā)生形變。電容式壓力計(jì)較于其他方法的優(yōu)點(diǎn)是: ? 高精度 ? 壓力輸出對(duì)氣體的依賴(lài)較小 ? 相對(duì)氣體的耐腐蝕性

詳情介紹：

微型自加熱設(shè)計(jì)
**的電極結(jié)構(gòu)帶來(lái)高性能和高穩(wěn)定性
SUS316L隔膜
可從溫度控制（55，100°C ）或非加熱型選擇
一鍵調(diào)零
電源要求+/-15VDC 或 24VDC

符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

型	VG-211S 系列		VG-221S 系列
F.S. 測(cè)量范圍	133.32 帕斯（A）	1.3332 kPa （A）， 13.332 kPa （A）， 133.32 kPa （A）	133.32帕斯（A）	1.3332 kPa （A）， 13.332 kPa （A）， 133.32 kPa （A）
傳感器溫度 *1	安倍（25°C）		55°C / 100°C
精度 *2	0.5% R.S.	0.25% R.S.	0.5% R.S.	0.25% R.S.
分辨率	0.03% F.S.	0.01% F.S.	0.03% F.S.	0.01% F.S.
零溫度系數(shù)	0.01% F.S./°C	0.005% F.S./°C	0.005% 滿(mǎn)量程 /°C	0.0025% 滿(mǎn)量程 /°C
跨度溫度系數(shù)	0.05% 讀數(shù)/°C	0.03% 讀數(shù)/°C	0.03% 讀數(shù)/°C	0.02% 讀數(shù) /°C
響應(yīng)時(shí)間	< 60 毫秒
工作溫度 *3	10-50°C
接液材料	SUS316L
加壓極限	300kPA （A）	350kPa （A）	300kPa （A）	350kPa （A）
輸出信號(hào)	0-10VDC 負(fù)載電阻：10kΩ 或更高
I/O 連接器	D-Sub 15 針
電源電壓	+15VDC±5%、大 0.1A -15VDC±5%、大 0.1A		+15VDC±5%，大 0.6A。-15VDC±5%，大 0.6A。
	24VDC±5%，*大 2.4W		24VDC±5%，*大 22W
預(yù)熱時(shí)間	15 分鐘		60 分鐘（55°C 溫度控制型） 120 分鐘（100°C 溫度控制型）
集電極開(kāi)路輸出	額定電壓：30V 額定電流：50mA
重新歸零輸入 *4	現(xiàn)電壓觸點(diǎn)輸入觸點(diǎn)開(kāi)路電壓：13V *大觸點(diǎn)電流：1.3mA
標(biāo)準(zhǔn)接頭 *5	KF16， 1/2 英寸 VCR 母頭， ICF34， 1/4 英寸 VCR 母頭

可滾動(dòng)

*1 傳感器溫度顯示在銘牌上。訂貨時(shí)請(qǐng)注明傳感器溫度。
*2 線(xiàn)性，遲滯和重復(fù)性都包括在內(nèi)。 (環(huán)境溫度25℃)
*3 在規(guī)定的環(huán)境條件下，當(dāng)產(chǎn)品周?chē)袩嵩椿蚰承┊a(chǎn)品緊密放置時(shí)，環(huán)境溫度可能超過(guò)規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 零點(diǎn)可調(diào)范圍±5%。
*5 訂貨時(shí)請(qǐng)注明配件。

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產(chǎn)品名稱(chēng)：HORIBA堀場(chǎng)電容式壓力計(jì)